搭載液體質(zhì)流傳感器并內(nèi)置壓電控制閥的高性能數(shù)字通訊液體質(zhì)流控制器。 該產(chǎn)品標(biāo)配液體用流量傳感器與高性能壓電控制閥。通過使用液體質(zhì)流傳感器測量當(dāng)前流量，并反饋控制壓電閥的開度，從而實(shí)現(xiàn)高速的且自動地控制液體質(zhì)量流量。 通過使用液體質(zhì)量流量傳感器測量電流質(zhì)量流量并反饋控制壓電閥的打開，可以高速自動控制液體質(zhì)量流量。

連續(xù)控制微流速，無脈動

計量泵是一種方便的產(chǎn)品，可以流出一定量的液體，但它有活動部件，因此會產(chǎn)生脈動。 Lintec 的液體質(zhì)量流量控制器在正確壓力和恒定壓力下加壓時提供穩(wěn)定的流量控制，無脈動。

真空設(shè)備的液體控制

當(dāng)二次側(cè)處于真空狀態(tài)時，液體會逸出，容積式時難以控制流量。 液體質(zhì)量流量控制器（LC-3000系列）集成了控制閥和質(zhì)量流量傳感器，在適當(dāng)?shù)膲翰顥l件下，無論二次壓力如何，都可以控制流量。