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KASHIYAMA樫山工業(yè)NeoDry7E風(fēng)冷干式真空泵 采用在泵室中不使用油的干式方式“清潔排氣

KASHIYAMA樫山工業(yè)MU1218P/H噪音干式真空泵 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過(guò)高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過(guò)組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過(guò)15萬(wàn)L/min的要求。通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速通過(guò)大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

原裝KASHIYAMA樫山工業(yè)干式真空泵MU600P/H 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過(guò)高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過(guò)組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過(guò)15萬(wàn)L/min的要求。通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速通過(guò)大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

進(jìn)口KASHIYAMA樫山工業(yè)MU300P/H干式真空泵 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過(guò)高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過(guò)組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過(guò)15萬(wàn)L/min的要求。通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速通過(guò)大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工真空泵MU180P/H 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過(guò)高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過(guò)組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過(guò)15萬(wàn)L/min的要求。通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速通過(guò)大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)MU100P/H耐加工真空泵 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過(guò)高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過(guò)組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過(guò)15萬(wàn)L/min的要求。通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速通過(guò)大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。